Татбиқ ба сӯзишвории Passat сенсори фишори роҳи умумӣ 06E906051K

1. Усули ташаккули сенсори фишор, ки аз инҳо иборат аст:

Таъмини субстрати нимноқилӣ, ки дар он қабати диэлектрикии байниқабатаи якум, қабати диэлектрикии байниқабатӣ ва қабати диэлектрикии байниқабатаи дуюм дар субстрати нимноқилҳо ташкил карда мешаванд.

Лавҳаи электроди поёнӣ дар қабати якуми диэлектрикии байниқабатӣ, электроди аввалини мутақобила дар ҳамон қабат бо плитаи электроди поёнӣ ҷойгир буда, аз ҳам дур ҷойгир шудааст.

Пайваст кардани қабатҳо;

Ташаккул додани қабати қурбонӣ дар болои табақи қутби поёнӣ;

Дар қабати якуми диэлектрикии байниқабатӣ, қабати якуми байниҳамдигарӣ ва қабати қурбонӣ сохтани плитаи электроди болоӣ;

Пас аз ташаккули қабати қурбонӣ ва пеш аз ташаккули табақи болоӣ, дар қабати якуми пайвастшавӣ

Ташаккул додани чуқури пайвастшавӣ ва пур кардани чуқури пайвастшавӣ бо плитаи болоӣ барои пайваст кардани барқ ​​​​бо қабати якуми пайвастшавӣ;Ё,

Пас аз ташаккули лавҳаи электроди болоӣ дар плитаи электроди боло ва қабати аввалини байниҳамдигарӣ чуқуриҳои пайвасткунанда ба вуҷуд меоянд, ки онҳо

Ташаккул додани қабати ноқилӣ, ки плитаи электроди болоӣ ва қабати аввалини байниҳамдигариро дар чуқури пайвастшавӣ пайваст мекунад;

Пас аз ба таври электрикӣ пайваст кардани плитаи болоӣ ва қабати аввалини байниҳамдигарӣ, хориҷ кардани қабати қурбонӣ барои ташаккул додани ковок.

2. Усули ташаккули датчики фишор мувофиқи дархости 1, ки дар он қабати якум

Усули ташаккули қабати қурбонӣ дар қабати диэлектрикии байниқабатӣ аз марҳилаҳои зерин иборат аст:

Ба қабати якуми диэлектрикии байниқабатӣ гузоштани қабати маводи қурбонӣ;

Намунаи қабати маводи қурбонӣ барои ташкили қабати қурбонӣ.

3. Усули ташаккули сенсори фишор мувофиқи дархости 2, ки дар он фотолитография ва кандакорӣ истифода мешавад.

Қабати моддии қурбонӣ бо раванди etching тарҳрезӣ шудааст.

4. Усули ташаккули датчики фишор мувофиқи дархости 3, ки дар он қабати қурбонӣ мебошад

Мавод карбони аморфӣ ё германий мебошад.

5. Усули ташаккули датчики фишор мувофиқи дархости 4, ки дар он қабати қурбонӣ мебошад

Мавод карбон аморфӣ мебошад;

Газҳое, ки ҳангоми коркарди қабати маводи қурбонӣ истифода мешаванд, O2, CO, N2 ва Ar;

Параметрҳо дар ҷараёни коркарди қабати маводи қурбонӣ инҳоянд: диапазони ҷараёни O2 18 SCCM ~ 22 SCCM ва суръати ҷараёни CO 10% аст.

Суръати ҷараён аз 90 SCCM то 110 SCCM, суръати ҷараёни N2 аз 90 SCCM то 110 SCCM ва суръати ҷараёни Ar.

Диапазон 90 SCCM ~ 110 SCCM, диапазони фишор 90 mtor ~ 110 mtor ва қудрати ғаразнок аст

540w ~ 660w.