Барои Passat сӯзишворӣ Сенсори фишори роҳи оҳани роҳи оҳании PERLALIONIOL

1. Усули ташаккули санҷандаи фишор, ки аз ҷумла:

Таъмини субстратчаи нимназарк, ки дар он як қабати аввалини дини дини дини дини дини динитерерӣ, қабати аввалини дини дини дини дини дини дини динитерӣ ва дуввуми довталабии довталабии диничерӣ дар зеркигардозии нимназарказ ташаккул меёбад.

Табақчаи электродии поёнӣ дар қабати аввалини доғи дини диққат.

Қабатҳои пайвастшавӣ;

Ташаккул додани қабати қурбонӣ аз болои табақчаи қуттии поён;

Ташаккул додани лавҳаи болопӯш дар қабати аввалини диккерикри диверекрии, аввалин қабати яқин ва қабати қурбонӣ;

Пас аз ташаккули қабати қурбонӣ ва пеш аз ташаккули табақи болоӣ, дар қабати аввалини алоқаманд

Ташаккул додани чуқури пайваст ва пур кардани чуқури пайваст бо лавҳаи болоӣ бо қабати электрониро бо қабати аввалини пайвастшавӣ пайваст кунед; Ё,

Пас аз ташаккули табақчаи болоии болопӯш, чуқуриҳои пайвастшуда дар табақчаи электроди болоӣ ва қабати аввалини пайвастшавӣ, ки

Ташаккул додани қабати гузаронидашуда, ки ба табақчаи электродии болоӣ ва қабати аввалини пайвастшавиро дар зарфҳои пайвастшавӣ пайваст мекунад;

Пас аз пайвастшавӣ ба табақи болоӣ ва қабати аввалини пайвасткунӣ, аз байн бурдани қабати қурбонӣ барои ташаккул додани як холӣ.

2. Усули ташаккули сенсори фишор аз рӯи даъвои 1, дар қабати аввал

Усули ташаккули қабати қурбонӣ дар қабати байниҳамдигарии диниэлектррӣ қадамҳои зеринро ташкил медиҳад:

Ба амонат гузоштани қабати фидокорие дар қабати аввалини делитерритерри Веллажррик;

Паттар кардани қабати фидокории қурбонӣ барои ташкили қабати қурбонӣ.

3 бошад. Усули ташаккули сенсори фишор мувофиқи даъвои 2, дар он ҷо фотолитография ва гранилигатсия истифода мешавад.

Қабати фидокориҳои фидокориро аз ҷониби etching коркард мекунад.

4. Усули ташаккули санҷандаи фишор мувофиқи даъвои 3, ки қабати қурбонӣ

Маводи карбон ё Олмиум аст.

5. Усули ташаккули санҷандаи фишор аз рӯи даъвои 4, ки қабати қурбонӣ

Модда Карбонҳои аморфизест;

Loches, газҳои дар раванди қабули қабати фидокорсионӣ истифодашуда O2, CO, N2 ва AR;

Параметрҳо дар раванди қабули қабати фидокорсионӣ: ҷараёни O2-и O2 аст, 18 SCCM ~ 22 SCCM 10% -ро ташкил медиҳад.

Меъёри ҷараёни ҷараёни аз 90 скцм то 110 КМК дар 90 см неъси N2 қатор аст, ки аз 90 скцм то 110 скта ва ҷараёни урд.

Қитъаҳо 90 SCCM ~ 110 SCCM, дар масофаи 10 MTOR ~ 110 МТОР ва нерӯи ғаразнок аст

540w ~ 660w.