Санҷиши фишори муҳаррики 2CP3-68 1946725 барои экскаватор

Усули тайёр кардани санҷиши фишор, бо ҳиссаҳои зерин тавсиф карда мешавад:

S1, таъмин бо сатҳи қафо ва сатҳи пеш; Ташаккул додани рахи пиезӣ ва як минтақаи контакташии шадид дар сатҳи пеши кафер; Ташаккул додани пуфаки чуқури фишор аз ҷониби сатҳи қафои дастӣ;

S2, пайванди Дастрасии дастгирӣ дар қафои кафер;

S3, сӯрохиҳои пешбари истеҳсолӣ ва симҳои пешсаф дар тарафи пеши кафан ва пайваст кардани тасмаҳои пиезорсистӣ барои ташаккул додани пули ҷангал;

S4, пасандоз ва ташаккули қабати тавзеҳотӣ дар сатҳи пеши кафан ва кушодани қисми қабати қабули қабати ғайрифаъол барои ташкили минтақаи болоӣ. 2. Усули истеҳсоли сенсми фишор аз рӯи талаботи 1, дар куҷо қадамҳои зеринро ташкил медиҳад: S11: S11 S12: ion implantations ion дар сатҳи пеши даста, тасмаҳои пиезнизиссависӣ бо як раванди густариши баландсифат истеҳсол карда мешаванд ва минтақаҳои тамос ба таври шадид доғдор мешаванд; S13: пасандоз ва ташаккули қабати муҳофизатӣ дар тарафи пеши кафер; S14: Ретинг ва ташаккули шикамҳои чуқури фишор дар қафои дастӣ барои ташкили филми ҳассос. 3. Усули истеҳсоли сенсори фишор аз рӯи даъвои 1, ки дар он даста аст.

Соли 1962, TUFTEET ВА ҲА. Сенсор як танкони фишори пиезоризсистӣ бо тасмаҳои серғизо ва сохтори филмҳои Silloressistus ва сохтори филм бори аввал истеҳсол карда шуд ва таҳқиқотро дар санҷандаи фишори piezoressistic оғоз кард. Дар охири солҳои 1960 ва аввали солҳои 1970-ум, пайдоиши се технология, технологияи анисотропӣ ва технологияи анисотропӣ, технологияҳои антикӣ ва технологияи andicational, ки дар беҳтар кардани санҷиши фишор нақши муҳим доштанд, тағир ёфт. Аз соли 1980, бо рушди минбаъдаи технологияи микроқининг, ба монанди антисография, Литография, ба андозаи сенсури фишор коҳиш ёфт, ҳассосият такмил дода шуд ва натиҷа баланд аст ва иҷро. Ҳамзамон, рушд ва татбиқи технологияи нави микроэнергетикаи нав филм ғафсии сенсми фишорро ба таври дақиқ назорат мекунад.