Сенсори фишори муҳаррики 2CP3-68 1946725 барои экскаватори Картер

Усули тайёр кардани сенсори фишор, ки аз марҳилаҳои зерин иборат аст:

S1, таъмин намудани вафли бо сатҳи қафо ва сатҳи пеши; Ташаккул додани рахи пьезорезистивӣ ва майдони тамоси сахт дар сатҳи пеши вафли; Ташаккул додани як холигии амиқ фишор тавассути etching сатҳи қафои вафли;

S2, пайваст кардани варақи дастгирӣ дар пушти вафли;

S3, истеҳсоли сӯрохиҳои сурб ва симҳои металлӣ дар тарафи пеши вафли ва пайваст кардани тасмаҳои пьезорезистивӣ барои ташкили пули Wheatstone;

S4, гузоштан ва ташаккул додани як қабати пассиватсия дар сатҳи пеши вафли ва кушодани қисми қабати пассиватсия барои ташкили майдони филизӣ. 2. Усули истеҳсоли сенсори фишор мувофиқи дархости 1, ки дар он S1 махсусан марҳилаҳои зеринро дар бар мегирад: S11: таъмин намудани вафли бо сатҳи қафо ва сатҳи пеш ва муайян кардани ғафсии плёнкаи ба фишор ҳассос вафли; S12: имплантатсияи ион дар сатҳи пеши вафли истифода мешавад, тасмаҳои пьезорезистивӣ тавассути раванди диффузияи ҳарорати баланд истеҳсол карда мешаванд ва минтақаҳои тамос сахт допинг карда мешаванд; S13: гузоштан ва ташаккул додани қабати муҳофизатӣ дар сатҳи пеши пластинка; S14: кашиш ва ташаккул додани холигии амиқи фишор дар қафои вафли барои ташаккул додани филми ҳассос ба фишор. 3. Усули истеҳсоли сенсори фишор мувофиқи дархости 1, ки дар он вафли SOI мебошад.

Соли 1962 Туфте ва дигарон. бори аввал сенсори фишори пьезорезистивиро бо тасмаҳои паҳншудаи пьезорезистивии кремний ва сохтори плёнкаи кремний истеҳсол кард ва ба тадқиқот оид ба сенсори фишори пьезорезистӣ оғоз кард. Дар охири солҳои 1960-ум ва аввали солҳои 1970-ум, пайдоиши се технология, аз ҷумла технологияи анизотропии кремний, технологияи имплантатсияи ион ва технологияи пайвасткунии анодӣ, ба сенсори фишор тағйироти бузург овард, ки дар беҳтар кардани кори сенсори фишор нақши муҳим бозид. . Аз солҳои 1980-ум, бо рушди минбаъдаи технологияи micromechining, аз қабили etching анизотропӣ, литография, допинги диффузӣ, имплантатсияи ионҳо, пайвастшавӣ ва пӯшиш, андозаи сенсори фишор пайваста кам карда шуд, ҳассосият беҳтар карда шуд ва ҳосили баланд ва баланд аст. иҷрои аъло аст. Ҳамзамон, таҳия ва татбиқи технологияи нави micromechining ғафсии филми сенсори фишорро дақиқ назорат мекунад.