Сенсори фишори экскаватор як сенсори васеъ истифодашаванда мебошад, ки он истилоҳи умумӣ барои муайян кардани газ, моеъ, сахт ва дигар моддаҳо байни энергияи қувваи индуктивӣ мебошад, инчунин дар бар мегирад
Манометрҳо, ки фишори ҳаворо дар боло чен мекунанд ва вакуумометрҳо, ки фишори ҳаворо дар поён чен мекунанд. Намудҳои зиёди сенсорҳои қувва вуҷуд доранд, усули анъанавии андозагирӣ истифодаи деформатсия ва ҷойгузинии элементҳои чандирӣ барои ифодаи нигоҳдории муҳаррики тазриқии барқӣ мебошад, аммо ҳаҷми он калон, беақлона ва баромади ғайрихаттӣ мебошад. Бо афзоиши малакаҳои микроэлектроника, истифодаи маводи нимноқилҳо таъсири пьезорезистӣ ва чандирии олӣ, таҳияи сенсорҳои қувваи нимноқилҳо, муҳими кремнийи пьезорезистивӣ ва зарфияти ду, онҳо дорои андозаи хурд, вазни сабук, бартариҳои ҳассосияти баланд, дар қувваи нимноқил васеъ истифода мешаванд. сенсорҳо. Вақте ки нимноқил ба болои кристалл фишор оварда мешавад, муқовимати он тағир меёбад. Муносибати байни тағирёбии муқовимати муқовимати ноқилҳо ва фишорро эффекти пьезорезистиси нимноқилӣ меноманд ва сенсори миқдори механикиро, ки аз ин эффект сохта шудааст, сенсори қувваи пьезорезистсивӣ меноманд, ки ду намуд дорад, яке сенсоре мебошад, ки аз ченаки нимноқил часпонида шудааст. элементи чандирӣ, ки онро сенсори пьезорезистиви часпонидашуда меноманд. Дигар муқовимати диффузияест, ки аз технологияи микросхемаҳои интегралӣ дар заминаи маводи нимноқил сохта шудааст, то ченаки штамм ва субстрати кремний ҳамон як санҷандаро ташкил медиҳанд, ки онро сенсори пьезорезистиси диффузия меноманд. Он дорои хусусиятҳои ҳассосияти баланд, дақиқи баланд, андозаи хурд, вазни сабук, басомади баланди корӣ, сохтори оддӣ, кори боэътимод ва умри дароз.