Сохтори сенсори пьезорезистӣ

Дар ин сенсор, рахи резистор ба диафрагмаи кремнийи монокристаллӣ тавассути раванди ҳамгироӣ барои сохтани чипи пьезорезистивии кремний муттаҳид карда мешавад ва периферияи ин чип ба таври мӯътадил дар қабат бастабандӣ карда мешавад ва симҳои электрод бароварда мешаванд. Сенсори фишори пьезорезистивӣ, ки ҳамчун сенсори фишори ҳолати сахт маълум аст, аз ченаки илтиёмӣ фарқ мекунад, ки бояд қувваи берунаро тавассути унсурҳои ҳассос бавосита эҳсос кунад, аммо фишори ченшударо тавассути диафрагмаи кремний мустақиман ҳис мекунад.

Як тарафи диафрагмаи кремний як холигии фишори баландест, ки бо фишори ченшуда алоқа дорад ва тарафи дигараш пуфакест, ки бо атмосфера иртибот дорад. Умуман, диафрагмаи кремний ҳамчун доира бо периферияи собит тарҳрезӣ шудааст ва таносуби диаметр ба ғафсӣ тақрибан 20 ~ 60 аст. Чаҳор тасмаҳои муқовимат ба наҷосати P ба таври маҳаллӣ дар диафрагмаи кремнийи даврашакл паҳн мешаванд ва ба як пули пурра пайваст карда мешаванд, ки дутои онҳо. дар минтақаи фишори фишурда ва дуи дигар дар минтақаи фишори кашиш ҷойгиранд, ки нисбат ба маркази диафрагма симметрӣ мебошанд.

Илова бар ин, инчунин диафрагмаи кремнийи мураббаъ ва сенсори сутуни кремний мавҷуданд. Сенсори силиндрии кремний инчунин аз тасмаҳои муқовимат бо роҳи паҳншавӣ дар як самти муайяни ҳамвории кристалии силиндраи кремний сохта шудааст ва ду тасмаи муқовимат ба фишори шиканҷа ва ду тасмаи муқовимат ба фишори фишурда пули пурраро ташкил медиҳанд.

Сенсори пьезорезистӣ дастгоҳест, ки бо муқовимати диффузия дар зеризаминии маводи нимноқил мувофиқи таъсири пьезорезистивии маводи нимноқил сохта шудааст. Субстрати онро бевосита ҳамчун сенсори ченкунӣ истифода бурдан мумкин аст ва муқовимати диффузия дар субстрат дар шакли пул пайваст карда мешавад.

Вақте ки субстрат аз ҷониби қувваи беруна деформатсия мешавад, арзишҳои муқовимат тағир меёбанд ва пул натиҷаи мувофиқи номутавозунро ба вуҷуд меорад. Субстратҳо (ё диафрагмаҳо), ки ҳамчун сенсорҳои пьезорезистӣ истифода мешаванд, асосан вафли кремний ва вафли германий мебошанд. Датчикҳои пьезорезистивии кремний, ки аз пластинкаҳои кремний сохта шудаанд, ҳамчун маводи ҳассос таваҷҷӯҳи бештарро ба худ ҷалб мекунанд, махсусан сенсорҳои пьезорезистивии ҳолати сахт барои чен кардани фишор ва суръат бештар истифода мешаванд.